CANON 五軸高精度雷射鑽孔掃描系統

1 帶電流掃描儀的雷射掃描頭可以自由改變同一加工位置的光軸方向

2 通過我們獨特的光學技術實現大光軸傾斜和高速掃描

3 配備使用PSD傳感器的自動校正系統

4 適用領域: 探針卡加工、陶瓷加工、精細模具加工、汽車零部件加工

※1 光學角度
詳情請聯繫我們的銷售人員。

(*1) 掃描圓度值取決於校正結果。掃描條件：200Hz，φ1.0mm
測量條件：使用PSD傳感器測量

掃描模式

2D模式

此外，通過组合線段，可以實現具有高自由度的掃描圖案。

加工實例

在在高精度雷射鑽孔掃描系統中，可以通過高速掃描，用短脈衝雷射連續控制加工孔的錐度。可以在Sus、SI等金屬、玻璃等各種工件上鑽孔。

Material	Si3N4
Substrate Thickness	350um
Process shape	Square 50um × 50um Hole wall width: 25um
Laser	Green Corner R < 3um (typical)

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